Piezowiderstand

Pi|ezowiderstand,

 

Messwertaufnehmer, der bei Druck (oder Zug) seinen elektrischen Widerstand ändert. Besonders geeignet sind bestimmte Halbleitermaterialien, bei denen sich der spezifische Widerstand unter mechanischer Spannung stark ändert (Halbleiter-Dehnungsmessstreifen). Die Widerstandsänderung kann dabei etwa hundertmal größer als bei Metallen werden. Die relativ starke Temperaturabhängigkeit wird durch geeignete Materialauswahl und temperaturkompensierende Schaltungen vermindert. Ausführung z. B. als vier in ein Silicium-Einkristall-Plättchen (Chip) eindiffundierte Piezowiderstände (durch Ionenimplantation von Bor), die zu einer Wheatstone-Brücke geschaltet sind.